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廣州市昊志機電股份有限公司Guangzhou Haozhi Industrial Co., LTD.
產品中心
采用精密加工的氣浮部件搭配均勻氣膜設計，確保運動時垂直和水平方向的直線度誤差小于0.2微米/100毫米；
elmo高性能驅動器結合海德漢高精度反饋系統，實現重復定位精度優于0.035微米；
優秀的氣浮結構設計，提供高承載能力，可支持超過100公斤負載，同時保持高剛性；
多耦合場仿真確定極優的氣場參數設計，確保在氣壓大于0.65MPa時，仍可運行平穩且長期可靠。
極高的垂直/水平直線度
＜0.2um/100mm
極高的重復定位精度
＜0.035um
高承載特性
＞100kg/＞70N/um
極好的穩定性
氣壓＞0.65MPa
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